激光直写技术在微电极阵列制作中的应用研究

• 作者: 曹宇 曾晓雁 李祥友 李金洪 王小宝 王少飞 蔡志祥 陈弘达 陈海峰
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 微电极阵列(MEA) 激光微细熔覆电子浆料(LMCEP)技术 微笔直写技术
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 先进制造与自动化技术
• 页码范围: 210-214
• 分类号: TN405
• 字数: 3904字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3772/j.issn.1002-0470.2011.02.017

摘要

利用激光微细熔覆电子浆料(LMCEP)技术在熔融石英玻璃上初步制作了4×4微电极阵列(MEA)--目前研究细胞电生理的常用工具之一,在电极阵列背面利用微笔直写技术直接"写"上加温和热敏电阻,完成了微电极阵列、电热器件和热敏器件的集成制造.随后对电极阻抗和微加热器性能进行了测试,并在其上培养神经细胞.结果表明:激光直写导线宽度与加工电流、光阑直径、电子浆料、涂层厚度和衬底材料相关;电极和微加热器性能基本满足使用需求,但是电子浆料成分对细胞生物活性存在一些影响.今后将更换电子浆料材料,提高生物相容性.