以碳化硅为主要材料日本研制出测量纳米级尺寸的超精密尺子

• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密 纳米级 尺子 尺寸 测量 日本 碳化硅 材料
• 年，卷（期）: zgcycl_2011,（1）
• 页码范围: 53
• 页数: 1页
• 分类号: TB921

摘要

日本关西学院大学一个研究团队宣布，他们研发出一种超精密尺子，可用于测量纳米级别的尺寸。