脆性材料截面透射电镜样品的制备

• 作者: 杨倩 王燕飞 胡仙超 苏伟涛 郑遗凡 黄宛真
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 化学
• 关键词: 透射电镜 截面样品 制样 离子减薄
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 试验技术与方法
• 页码范围: 225-228
• 页数: 4页
• 分类号: O657.99
• 语种: 中文

摘要

针对脆性材料截面透射电镜样品制样难的问题,详细介绍一种改进的离子减薄法制备脆性材料截面TEM样品的方法,即先制备层叠矩形薄片,然后使用低速锯切取出层叠薄片,再用切割工具切割出φ3 mm的圆片,最后采用凹坑研磨和抛光及离子减薄法完成样品的制备.大量操作试验证明该方法具有成本低、操作方便等优点,提高了截面TEM样品的制样成功率;采用该方法可快速制备硅基底上生长的薄膜层的TEM样品,然后用TEM可清晰观察到薄膜层的生长情况.