MOD法在种子层/Ni-W上制备La0.4Sr0.6TiO3薄膜的研究

• 作者: 冉阿倩 李英楠 李风华 樊占国 王雪 罗清威
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: SrTiO3种子层 La0.4Sr0.6TiO3缓冲层 热处理 取向
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 40-42,46
• 分类号: TM262
• 字数: 3373字
• 语种: 中文

摘要

采用金属有机沉积法(MOD)在双轴织构的Ni-5%(原子分数)W基带上制备了SrTiO3种子层,然后再在种子层上沉积La0.4Sr0.6TiO3薄膜.SEM图像显示种子层颗粒分布均匀,大小基本一致.通过XRD和SEM研究了不同热处理温度对La0.4Sr0.6TiO3薄膜取向和微观形貌的影响,结果显示,在Ar-4%H2气氛下于950℃制备的薄膜取向良好,表面光滑致密,无裂纹和孔洞出现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊占国	东北大学材料与冶金学院	87	611	14.0	19.0
2	王雪	东北大学材料与冶金学院	20	99	6.0	9.0
3	罗清威	东北大学材料与冶金学院	11	20	3.0	4.0
4	李英楠	东北大学材料与冶金学院	19	42	3.0	4.0
5	李风华	东北大学材料与冶金学院	2	0	0.0	0.0
6	冉阿倩	东北大学材料与冶金学院	5	27	2.0	5.0