纳米压印技术与感光树脂应用的发展

• 作者: 刘力行 曹瑞军 李祥明 白龙腾
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米压印 UV光固化 感光树脂 电润湿 电毛细
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 45-49
• 分类号: TQ31
• 字数: 2178字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-5624.2011.02.010

摘要

纳米压印技术作为1种新兴的微纳制造技术,受到了学术界极大的关注.UV光固化纳米压印因其工艺加工精度高,生产效率高,成本低,对准性好,在纳米压印中具有无可比拟的优势.在其不断发展中对核心要素之一的感光树脂的应用也提出了新的要求与挑战.本文总结了纳米压印技术及感光树脂应用的发展,同时提出了1种新的纳米压印光刻技术,并对感光树脂的发展提出展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹瑞军	西安交通大学理学院化学系	42	377	12.0	18.0
2	李祥明	西安交通大学理学院化学系	3	25	3.0	3.0
3	刘力行	西安交通大学理学院化学系	3	25	2.0	3.0
4	白龙腾	西安交通大学理学院化学系	1	3	1.0	1.0