L梁微梳齿谐振器的有限元分析与工艺设计

• 作者: 王强 秦燃 高杨
• 来源期刊: 信息与电子工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 梳齿谐振器 谐振频率:工艺流程
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 微光机电与物理电子技术
• 页码范围: 502-506
• 分类号: TN305
• 字数: 1904字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-2892.2011.04.023

摘要

建立了L梁微机械梳齿谐振器的仿真模型,利用ANSYS有限元仿真软件对其进行模态和谐响应仿真分析.通过模态分析,得到谐振频率等重要性能参数以及不同L梁结构参数对它们的影响:谐振频率随着L长梁梁长的增加而减小；随着L长梁梁宽,L短梁梁长、梁宽的增加而增加.并在谐响应仿真分析中得到微机械谐振器的幅频响应特性,设计了谐振器的工艺流程和相应的掩膜版图.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	王强	西南科技大学制造科学与工程学院	43	154	7.0	10.0
6	秦燃	西南科技大学信息工程学院	7	17	3.0	3.0