基于ANSYS的声表面波氢气传感器压电分析

• 作者: 张子立 朱斌 殷晨波 董宁宁
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 氢气传感器 ANSYS 压电分析
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 950-953
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2694字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.07.004

摘要

设计了声表面波氢气传感器的结构,利用ANSYS软件建立了声表面波传感器的有限元模型,并对SAW氢气传感器进行了仿真,最后用数据处理软件Origin分析了敏感薄膜的材料参数对传感器输出的影响.传感器通人1 000× 10-6的氢气后,钯膜的厚度、密度、弹性模量等发生了相应改变,进而导致输出电压、频率等发生改变.分析表明:钯膜的厚度增大时,声表面波在压电基底上的传播速度减慢,频率变小,输出端电压的幅值增大；钯膜的密度变小时,输出端电压的幅值变小；钯膜的弹性模量变小时,输出端电压的幅值增大,时间上略有延迟.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷晨波	南京工业大学机械与动力工程学院	208	1210	16.0	23.0
2	朱斌	南京工业大学机械与动力工程学院	25	171	8.0	11.0
3	张子立	南京工业大学机械与动力工程学院	15	85	5.0	8.0
4	董宁宁	南京工业大学机械与动力工程学院	2	11	2.0	2.0