氢气甚高频与高频容性耦合放电等离子体特征的比较

• 作者: 姚福宝 张连珠 赵海涛 郝莹莹
• 来源期刊: 核聚变与等离子体物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 氢气甚高频容性耦合放电 PIC/MC模拟 H2等离子体
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 等离子体物理学
• 页码范围: 320-326
• 分类号: O539
• 字数: 3217字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6086.2011.04.006

摘要

开发了氢气甚高频(60MHz)容性耦合放电的PIC/MC模型.在模型中考虑了带电粒子(e,H+,H2+,H3+)与H2的21种碰撞反应过程,模拟了氢气甚高频放电射频电场和电势分布以及电子和氢离子(H+,H2+,H3+)粒子密度和平均能量分布,并与频率为13.56MHz的放电结果进行了比较.结果表明,相对于频率13.56MHz的放电,氢气甚高频放电等离子体电势增高,导致两电极附近的电场增强；另外,两鞘层厚度变窄并且电子和H3+离子平均能量减小,其总密度却增加.H3+离子为氢气甚高频放电空间的主要离子,H2+离子密度比H3+离子小约2～3个数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张连珠	河北师范大学物理科学与信息工程学院	25	66	4.0	7.0
2	赵海涛	河北师范大学物理科学与信息工程学院	3	0	0.0	0.0
3	郝莹莹	河北师范大学物理科学与信息工程学院	3	0	0.0	0.0
4	姚福宝	河北师范大学物理科学与信息工程学院	2	0	0.0	0.0