2Al2铝合金精密件基体表面粗糙度对低温磁控溅射TiN的影响

• 作者: 曾清华 李建国 羊俊 赵龙
• 来源期刊: 轻合金加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 2Al2铝合金精密件 表面粗糙度 磁控溅射 TiN
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 表面处理工艺与设备
• 页码范围: 56-58,69
• 分类号: TB747|TG146.21
• 字数: 2564字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7235.2011.09.012

摘要

研究2Al2铝合金精密件表面在低温磁控溅射沉积TiN薄膜过程中,基体表面粗糙度对成膜过程及薄膜显微硬度的影响.结果表明,低温磁控溅射沉积处理几乎不改变2Al2铝合金精密件基体原始表面形貌,对其精密加工状态具有遗传性或复制性.通过显微硬度测试表明,随着2Al2铝合金精密件加工精度的提高,基体表面粗糙度降低,TiN薄膜的显微硬度稳定在19 MPa以上,满足了2Al2铝合金精密测试杆特殊功用的要求

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建国	中国工程物理研究院电子工程研究所	26	107	7.0	9.0
2	赵龙	中国工程物理研究院电子工程研究所	18	97	6.0	9.0
3	羊俊	中国工程物理研究院电子工程研究所	2	0	0.0	0.0
4	曾清华	中国工程物理研究院电子工程研究所	1	0	0.0	0.0