偏压及测试环境对离子束DLC膜摩擦学行为的影响

• 作者: 代伟 柯培玲 汪爱英 赵博通
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 阳极层离子源 DLC 衬底负偏压 摩擦学行为
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 510-514
• 分类号: TH117.3
• 语种: 中文

摘要

采用线性阳极层离子束技术制备了类金刚石薄膜（DLC膜）,研究了不同衬底负偏压和测试环境对DLC薄膜摩擦学性能的影响.结果表明：在-50V偏压下,薄膜硬度和弹性模量最大,这主要与薄膜中高的sp3含量相关;衬底负偏压对薄膜在室温大气条件下的摩擦学性能影响不显著,薄膜总体呈现较低的摩擦系数和磨损率,显示出优异的抗磨损性能;线性离子束制备的含氢DLC薄膜的摩擦学行为受湿度及环境气氛影响较大,归因于环境中的氧气和水分造成的摩擦化学反应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	代伟	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	6	53	4.0	6.0
2	汪爱英	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	33	206	9.0	13.0
3	柯培玲	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	22	149	7.0	11.0