飞秒激光微加工中热熔化与热传递现象研究

• 作者: 牛鹏程 苗恩铭 费业泰 陈甦欣 颜焱
• 来源期刊: 农业机械学报
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 熔化 热传递 激光能量密度
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 先进制造技术及基础理论
• 页码范围: 224-228
• 分类号: TN24|TG665
• 字数: 3369字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1298.2011.04.045

摘要

对飞秒激光能量密度为0.108～28.68 J/cm2范围内加工的硅孔表面形貌尺寸进行分析,同时对热传递现象进行研究.理论分析了飞秒激光加工区域热传导时间及温度分布,并将其与实验测量值进行对比,验证了热影响的存在.通过理论与实验分析说明了在高能量飞秒激光加工中热传递现象不可避免,并获得了较好的孔加工质量的激光能量合理参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	费业泰	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	222	2927	27.0	41.0
2	苗恩铭	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	68	611	12.0	20.0
3	陈甦欣	合肥工业大学机械与汽车工程学院	37	108	6.0	8.0
4	牛鹏程	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	6	51	5.0	6.0
5	颜焱	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	4	15	2.0	3.0