晶体硅太阳电池表面钝化技术

• 作者: 刘新宇 吴大卫 张希清 李昊峰 武德起 贾锐 陈伟 陈宝钦 陈晨
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳电池 钝化 减反特性 转换效率 表面复合 叠层钝化膜
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 118-127
• 分类号: TM914.4|TN3O5.2
• 字数: 7332字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.02.010

摘要

介绍了晶体硅太阳电池表面钝化技术的发展历程,表面钝化膜在晶体硅太阳电池中所起的作用,以及晶体硅太阳电池中各种钝化膜和表面钝化技术.阐述了国内和国际对晶体硅太阳电池表面钝化技术的最新研究动态,重点论述了SiO2,SiNx,SiCx 和Al2O3,以及这些钝化膜的叠层钝化技术的优缺点.在此基础上进一步指出SiO2:/SiNx 叠层钝化膜将成为今后工业化生产的研究重点,Al2O3 及其叠层钝化膜将成为今后实验室的研究重点,由于表面钝化是提高晶体硅太阳电池转换效率最有效的手段之一,今后晶体硅太阳电池表面钝化技术仍将是国内和国际研究的热点问题之一.