Mn掺杂PBST薄膜的溶胶-凝胶工艺制备及介电调谐性能

• 作者: 侯爽 周生刚 孙小华 张巧玲 李修能 杨英 罗志猛
• 来源期刊: 三峡大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: PBST薄膜 Mn掺杂 微观结构 介电调谐性能
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 机电工程
• 页码范围: 72-75
• 分类号: TM934.33
• 字数: 3118字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-948X.2011.06.017

摘要

采用溶胶-凝胶工艺在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Mn掺杂的钛酸锶铅钡PBST铁电薄膜.探讨了掺杂后PBST薄膜的微观结构及其铁介电性能.实验结果表明:随着Mn的掺杂量的增加,PBST薄膜的晶化质量变好,介电常数、介电损耗和调谐量均有减小的趋势,其优值因子有显著的提高.在测定频率为1 MHz下,掺杂后的PBST薄膜介电常数和介电损耗呈下降趋势,薄膜的介电常数从未掺杂的1 250降低至掺杂后的610,同时介电损耗由0.095减小到0.033,当Mn为J4 mol％时,有最小的介电损耗0.033,虽然调谐量不是最高的,但有最大的优值因子(FOM),其微波介电综合性能有所改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙小华	三峡大学机械与材料学院	26	91	5.0	8.0
2	杨英	三峡大学机械与材料学院	14	20	3.0	4.0
3	李修能	三峡大学机械与材料学院	5	13	2.0	3.0
4	周生刚	三峡大学机械与材料学院	2	5	1.0	2.0
5	侯爽	三峡大学机械与材料学院	2	1	1.0	1.0
6	罗志猛	三峡大学机械与材料学院	1	0	0.0	0.0
7	张巧玲	三峡大学机械与材料学院	1	0	0.0	0.0