一种微小物体精密定位的直线微工作台

• 作者: 冈本幸一 千叶美帆 彭玉鑫 清水裕樹 相泽周二 荒井義和 金子純史 高伟
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 直线微工作台 平滑冲击驱动 压电元件 磁铁 精密定位 大行程
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 221-227
• 分类号: TH6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2011.03.007

摘要

提出了一种基于平滑冲击驱动原理的精密定位直线微工作台.通过采用微小强磁铁作为摩擦元件,减小了由摩擦元件磨损而产生的摩擦力的变化,从而提高了微工作台的稳定性.设计制作了微工作台样机,并对精密定位工作台的动态特性和静态特性进行了实验研究.结果表明,微工作台体积小(20mm×10 mm×3 mm),可实现6 nm的精确定位,最高驱动速度可达5.4 mm/s,最大行程可达20 mm.