基于白光干涉的空间频域算法研究

• 作者: 谢元安 韩志刚
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 白光干涉 干涉显微镜 空间频域算法
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 光电测量与检测
• 页码范围: 81-85
• 分类号: TH741.1
• 字数: 1982字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.07.015

摘要

为了精确定位白光干涉条纹的零光程差位置,采用空间频域算法通过傅里叶变换提取白光干涉信号中心波长的相位信息并结合包络中心算法去除相位模糊从而实现零光程定位.实例测量了具有相位突变的计算全息元件的表面轮廓,其平均刻蚀深度为1.63 μm.测量表面形貌连续分布的微透镜阵列,0.32 mm×0.32 mm视场内表面PV为370.99 nm,RMS为62.4 nm.空间频域算法能够有效定位白光干涉零光程差位置,适合于测量微观表面轮廓分布.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢元安		3	15	1.0	3.0
2	韩志刚	南京理工大学电子工程与光电技术学院	17	79	5.0	8.0