基于双缝隙结构的电光调制器设计与工艺实现

• 作者: 周林杰 孙晓萌 李新碗 谢静雅 陈建平
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电光调制器 双缝隙波导 法布里-珀罗微谐振器 光子晶体
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 现代光电领域博士生交叉学科创新论坛
• 页码范围: 38-41
• 分类号: TN15
• 字数: 2801字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2011.05.008

摘要

受铜线带宽小、延时大、功耗高的限制,下一代芯片互连较为可行的一种解决方式是采用光互连.调制器作为其中的关键器件,有重要的研究意义.设计了一种新型的硅基双缝隙波导电光调制器,该调制器结构采用法布里-珀罗微谐振器,依靠缝隙内高非线性聚合物的快速电光效应,通过外加电压达到调制效果.调制器结构包含了新型的一般微纳波导到双缝隙波导的模式转换器,降低了传输损耗,也更利于电极的工艺制作.首先对设计结构进行仿真分析,得到合适的设计参数.然后,对调制器所需的工艺进行反复验证,包括工艺制备中参数的优化等,通过使用电子显微镜已观测到较好的光刻线宽、刻蚀深度以及侧壁粗糙度.初步完成了调制器硅基部分的制备,为下一步聚合物工艺打下基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈建平	上海交通大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室	142	703	11.0	22.0
2	李新碗	上海交通大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室	55	281	8.0	14.0
3	谢静雅	上海交通大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室	3	1	1.0	1.0
4	周林杰	上海交通大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室	8	5	2.0	2.0
5	孙晓萌	上海交通大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室	3	1	1.0	1.0