硅基多孔阳极氧化铝模板的制备研究

• 作者: 刘文秋 吴国伟 方小利 朱永丹 李美亚 汪晶
• 来源期刊: 湖北民族学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔氧化铝(AAO)模板 硅基 SEM 生长机理
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 28-31
• 分类号: TQ153.6
• 字数: 2764字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-8423.2011.01.008

摘要

利用电子束蒸发在硅衬底上制备Al膜,并制备硅基阳极氧化铝(AAO)模板;利用X射线衍射和扫描电子显微镜对模板的结构和形貌进行了表征;利用计算机对阳极氧化电流的实时观测监控了硅基AAO模板的自组装过程.优化了制备孔洞规则的高质量硅基阳极氧化铝模板的条件,该模板对进一步研究硅基AAO模板多铁功能纳米管线及相应的器件奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李美亚	武汉大学物理科学与技术学院	29	85	5.0	6.0
2	汪晶	武汉大学物理科学与技术学院	8	47	3.0	6.0
3	吴国伟	武汉大学物理科学与技术学院	2	3	1.0	1.0
4	刘文秋	武汉大学物理科学与技术学院	3	8	2.0	2.0
5	朱永丹	武汉大学物理科学与技术学院	14	12	2.0	2.0
9	方小利	武汉大学物理科学与技术学院	4	11	2.0	3.0