三氯氢硅加压提纯法

• 作者: 刘田根
• 来源期刊: 江西化工
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯氢硅 精馏 加压 硼、磷含量 经济效应
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 页码范围: 163-163
• 分类号: TQ028.31
• 字数: 1116字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-3103.2011.03.045

摘要

采用世界上先进的改良西门子技术,对三氯氢硅精馏过程进行多塔除轻、除重,并采用加压的分离方式。这种精馏技术,可以实现产品质量大幅度的提高,硼、磷含量降低到极低,实现了大规模提高经济效益的目的。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘田根		1	3	1.0	1.0