YAG激光参量对刻蚀微坑形貌的影响

• 作者: 占剑 杨明江
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光刻蚀 脉冲能量密度 微坑表面形貌
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 238-241
• 分类号: TN249|TG665
• 字数: 2258字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.02.026

摘要

为了增加单次激光脉冲刻蚀微坑的深度,提高加工效率,利用双声光调制技术,通过对比不同能量密度的脉冲激光刻蚀微坑深度,及对比两种激光器输出的激光脉冲刻蚀微坑形貌,研究了激光参量对刻蚀微坑形貌的影响.结果表明,脉冲能量密度为20.21J/cm2时,刻蚀微坑深度达到最大值,继续增加能量密度时,微坑深度将随之减小;相比于单腔激光器,双腔激光器刻蚀微坑深度从5μm增加至10μm,微坑直径从161μm降至134μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨明江	中国科学院力学研究所	20	119	6.0	10.0
2	占剑	中国科学院力学研究所	8	30	3.0	5.0