美国斯坦福大学开发纳米电路剥离工艺

• 来源期刊: 上海化工
• 学科: 工学
• 关键词: 美国斯坦福大学 剥离工艺 纳米电路 开发 可重复使用 研究人员 任意形状 硅晶圆
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 海外化工
• 页码范围: 49-49
• 分类号: TQ342.93
• 语种: 中文

摘要

美国斯坦福大学（Stanforduniversity）的研究人员最近开发出一种创新的晶圆等级（Wafer-scale）剥离（Lift—off）工艺，能在可重复使用的硅晶圆上制作纳米线电路，然后将之移植到任意形状的、采用任何一种材料的衬底上。