基于反射镜表面粗糙度计算极紫外望远镜分辨率

• 作者: 杨林 郑贤良 陈波
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 地球科学
• 关键词: EUV太阳望远镜 反射镜 表面粗糙度 功率谱密度 分辨率
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2565-2572
• 分类号: TH745|P111.41
• 字数: 6222字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111911.2565

摘要

针对短波段成像系统中的散射问题,提出了一种基于反射镜表面粗糙度来计算极紫外太阳望远镜工作波段分辨率的方法.首先分析了两镜系统中散射光线的传播,讨论了反射镜表面粗糙度相对波长的比值与像面光强分布的关系.分频段测量了反射镜的表面粗糙度,利用k-相关模型拟合出全频段的一维功率谱密度(PSD).数值计算结果表明:在1/D到1/λ(λ为入射光波长)的空间频率范围内,主次镜的有效均方根表面粗糙度分别为0.59 nm和0.77 nm.利用Zemax光学设计软件,建立了包含反射镜表面粗糙度测量数据的极紫外(EUV)望远镜非序列模型,该计算模型能够反映出反射镜表面散射对像面分辨率的影响,结果显示,在30.4 nm波段,包含80％的能量半径从3.9μm增大到4.3 μm,望远镜在工作波段相应的分辨率为0.25〞,满足设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波		167	1116	17.0	24.0
2	杨林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	38	452	12.0	20.0
6	郑贤良	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	31	3.0	3.0