基于无衍射光的表面粗糙度三角测量及其灰色评定方法

• 作者: 孟浩 王中宇 王倩 王雪
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 表面粗糙度 无衍射光 灰色滤波 激光三角法
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 光学计量与测试
• 页码范围: 909-912
• 分类号: TN206|TH74
• 字数: 2784字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2011.05.019

摘要

激光三角法是表面形貌非接触测量中的一种常用方法,在几何测量领域应用广泛.传统的激光三角法采用高斯光束作为指示光源,在机械扫描机构的配合下,通过对被测表面逐点扫描完成表面形貌的测量.采用新型的无衍射光替代传统激光光源,解决了普通高斯光束存在的“焦深”问题,简化了机械结构.并采用基于灰色系统理论的灰色滤波进行表面形貌的分离与评定,克服了原有方法对测量数据样本量和统计特性的依赖,并通过实验表明该系统能够准确地完成表面形貌的三维测量,所提出的灰色评定方法能够比较有效地进行表面形貌的分离与评定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王雪	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	63	754	15.0	24.0
2	王中宇	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	90	807	15.0	24.0
6	孟浩	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	5	76	5.0	5.0
7	王倩	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	12	64	5.0	7.0