新型分立倾斜式微变形镜研究

• 作者: 姚军 张建飞 汪为民 陶逢刚 颜胜美
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学器件 变形镜 微机电系统 分立倾斜式 驱动器 表面微加工工艺
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 253-258
• 页数: 6页
• 分类号: TP211+.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.0716002

摘要

基于微机电系统(MEMS)技术微加工工艺,提出了一种新型分立倾斜式变形镜(DM)设计,并加工制作了3×4变形镜阵列.该结构每个镜面单元对应一个驱动器,实现了连续面形的分立驱动,并且可有效释放工艺过程中产生的残余应力,从而降低镜面的翘曲.基于弹性理论对该变形镜的电压位移关系以及谐振频率进行了数值计算,并利用有限元软件对其进行了仿真,同时采用光学轮廓仪对样品进行了测试.实验结果表明,所制作的变形镜阵列可实现平移和倾斜运动,在3.75 V电压下可达到0.76 Km的行程,与理论分析和模拟仿真结果一致.与传统分立倾斜式变形镜相比,该新型分立倾斜式变形镜具有较低的驱动电压、较少的驱动器数量,适用于集成度高且与集成电路(IC)单片集成的变形镜设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚军	中国科学院光电技术研究所	32	355	11.0	18.0
2	陶逢刚	中国科学院光电技术研究所	5	3	1.0	1.0
3	汪为民	中国科学院光电技术研究所	16	32	3.0	4.0
4	张建飞	中国科学院光电技术研究所	3	2	1.0	1.0
5	颜胜美	中国科学院光电技术研究所	1	0	0.0	0.0