钬激光器用高反膜的制备及其工艺研究

• 作者: 于振坤 宋永香 黄建兵 齐红基
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 钬激光器 高反膜 优化
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 220-223
• 页数: 4页
• 分类号: O438.1|O484.4+1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.1107003

摘要

采用红外石英作为基底材料,利用siO2/ZrO膜系制备2100nm波段钬激光器0°高反膜.提出一套完整的优化工艺,解决了薄膜的材料(膜料和基底)本身的水吸收,克服了薄膜表面光洁底差、散射吸收损耗大、容易破裂等问题,镀制出的薄膜在激光使用波长透射率小于0.1％,粗糙度小于1 nm,并且具有长期稳定性好,可靠性高等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐红基	中国科学院上海光学精密机械研究所	40	299	11.0	16.0
2	黄建兵	中国科学院上海光学精密机械研究所	16	131	6.0	11.0
3	宋永香	中国科学院上海光学精密机械研究所	5	30	2.0	5.0
4	于振坤	中国科学院上海光学精密机械研究所	3	0	0.0	0.0