等离子体诊断用Schwarzschild显微镜的光学设计

• 作者: 伊圣振 王占山 王新 穆宝忠 翟梓融 黄怡
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: Schwarzschild显微镜 空间分辨力 视场 公差
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 397-402
• 分类号: O434.1
• 字数: 3726字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112302.0397

摘要

基于三级像差理论设计了用于激光等离子体诊断的极紫外Schwarzschild显微镜光学系统.显微镜的工作波长为18.2 nm,数值孔径为0.1,放大倍数为10.光学设计得到中心视场空间分辨力达0.3μm,±1 mm视场内分辨力约0.4μm的结果.分析了Schwarzschild成像系统的物镜装配、系统装调及光学元件加工误差对像质的影响,结果显示光学元件局部面形误差是影响系统成像分辨力的主要因素.通过提高系统装调的精度,可以有效补偿像距误差、两镜间距误差及曲率半径误差对像质的影响.综合考虑实际加工和装调能力,制定了系统整体公差方案,考虑公差后光学系统能够在±1 mm视场内获得3μm的空间分辨力,达到了等离子体诊断的要求.