等离子体诊断用18.2nm Schwarzschild显微镜

• 作者: 伊圣振 刘红杰 曹磊峰 朱京涛 王占山 王新 穆宝忠 翟梓融 蒋励 谷渝秋 黄怡
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: Schwarzschild显微镜 激光等离子体 Mo/Si多层膜 空间分辨力
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 647-651
• 分类号: O434.1
• 字数: 2346字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112303.0647

摘要

研制了用于超快激光等离子体诊断的schwarzschild型正入射显微镜,该显微镜工作波长为18.2 nm,数值孔径为0.1,放大倍数为10.根据诊断要求设计了Schwarzschild物镜的光学结构,计算了物镜的光学传递函数,结果显示,设计的物镜在±1 mm视场范围内像方空间分辨力可达125 lp/mm.根据系统工作波长和光线在镜面的入射角度设计了Mo/Si周期多层膜反射镜,制作了Schwarzschild显微镜光学元件,镀制的膜系周期厚度为9.509 nm,周期数为30,对18.2 nm波长的反射率约31.1%.利用激光等离子体光源对24 lp/mm网格进行了成像实验,实验结果表明:系统在中心视场的分辨力为3μm,600μm内视场的分辨力为5μm.