18.2nm Schwarzschild显微物镜用多层膜带宽匹配问题分析

• 作者: 王占山
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 软X射线多层膜 Schwarzschild物镜 带宽匹配
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 14-18
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2881字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.1999.03.003

摘要

软X射线多层膜的进展使正入射高分辨率成像系统从红外、可见和紫外扩展到软X射线波段.由于软X射线多层膜的反射率还不能像其它波段反射镜反射率那样高,因此由两块同心球面反射镜组成的Schwarzschild物镜在软X射线波段得到了广泛的应用.本文从多层膜带宽匹配条件、Schwarzschild显微物镜的几何尺寸和多层膜镀制设备的性能出发,研究了实现Schwarzschild显微物镜带宽匹配条件的镀膜过程,为实际制备Schwarzschild显微物镜用多层膜提供理论指导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王占山	中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室	9	63	5.0	7.0