计算全息法标定抛物面精度分析

• 作者: 杨怀江 苗二龙 谷勇强 隋永新 高松涛
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 计算全息法 抛物面测量 精度分析 Fizeau干涉仪
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 195-200
• 页数: 6页
• 分类号: O438.1|O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.1208005

摘要

非球面高精度检测是目前光学检测研究的热点和难点之一.计算全息(CGH)技术是非球面检测的重要方法,但检测精度受到许多因素的影响.对CGH检测抛物面的误差进行了深入研究.应用Zemax软件对各种检测误差进行模拟计算,利用CGH对抛物面面形进行实际测量,对测量结果中较大的透射波前误差、彗差、球差等进行分析,并将CGH法与共焦小球法的检测进行了结果对比.结果表明,CGH法的设计和制造精度很高,标定基底的透射波前后,理论检测误差均方根(RMS)值低于4.2 nm.实际检测中,CGH的离焦和抛物面偏心会造成较大的测量误差,精密调整后的测量误差RMS值优于4.5 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	隋永新	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	71	495	11.0	19.0
2	杨怀江	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	62	411	11.0	18.0
3	谷勇强	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	40	3.0	6.0
4	苗二龙	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	18	37	4.0	6.0
5	高松涛	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	22	3.0	4.0