脉冲YAG激光波形对缸套内壁激光刻蚀微坑形貌的影响

• 作者: 占剑 杨明江 王红才
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光波形 脉宽 微坑表面形貌 微坑深度
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 激光微纳米制造
• 页码范围: 261-266
• 页数: 6页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.0603032

摘要

为了减小激光刻蚀微坑表面的再铸层及增加刻蚀微坑的深度,利用双声光调制技术,通过对比0.25,7.5和200μs 3个不同量级脉宽,及对比单峰、双峰和三峰等不同激光脉冲波形的激光脉冲刻蚀微坑形貌,来研究激光脉宽及脉冲波形对刻蚀微坑形貌的影响.结果表明,激光脉宽为0.25 μs时毛刺较多,脉宽为200 μs时表面熔凝现象明显,脉宽为7.5 μs时表面熔凝现象及毛刺郁明显减少;单峰波形刻蚀微坑表面毛刺较多,深度为7.5 μm,三峰波形刻蚀微坑表面出现熔凝现象,深度为10μm,双峰波形刻蚀微坑表面毛刺及熔凝最少,深度为15μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨明江	中国科学院力学研究所	20	119	6.0	10.0
2	占剑	中国科学院力学研究所	8	30	3.0	5.0
3	王红才	中国科学院力学研究所	3	26	2.0	3.0