常压下高低温交变实验对激光薄膜元件的影响

• 作者: 于振坤 苏涵韩 黄建兵
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 透射率光谱 面形 激光损伤
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 152-157
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.1207003

摘要

在不同的实验环境条件下,对电子束蒸发制备的ZrO2/SiO2多层膜进行了高低温交变实验.扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)的测试结果显示高低温交变前后薄膜内部均无晶体形成,膜层结构也无变化.测试高低温交变前后样片的透射率光谱、面形、激光损伤阈值,并对其进行分析.结果表明,在经历高低温交变实验之后,薄膜元件中心波长处的透射率下降,损伤阈值降低,面形向凹陷方向发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄建兵	中国科学院上海光学精密机械研究所	16	131	6.0	11.0
2	于振坤	中国科学院上海光学精密机械研究所	3	0	0.0	0.0
3	苏涵韩	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	0	0.0	0.0