微电子光刻实验净化工作台设计

• 作者: 张丹 施敏 王强 罗辰
• 来源期刊: 中国现代教育装备
• 学科: 工学
• 关键词: 导流分压 双正压 净化工作台
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 页码范围: 21-22,32
• 分类号: TN3
• 字数: 2700字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-1438.2011.05.007

摘要

提出了一种导流分压式双正压净化工作台.分析了该工作台的结构特征及工作原理.通过与常规垂直层流净化工作台的比较及实验结果分析,指出了该产品的经济性、优越性及应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王强		60	132	6.0	8.0
2	施敏		34	78	5.0	7.0
3	罗辰		1	0	0.0	0.0
4	张丹		5	6	2.0	2.0