SiC表面的氢钝化

• 作者: 王海波
• 来源期刊: 科技创业家
• 关键词: SiC表面处理 氢钝化 氢气 退火
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 理论研究
• 页码范围: 208,282
• 字数: 2269字
• 语种: 中文

摘要

本文在对比SiC和Si结构差别的基础上,总结了当今现在比较流行的氢钝化工艺,如沸水、沸氟化氢、氢气退火、等离子体处理等,并简要介绍了各自工艺的特点和不足.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海波		4	3	1.0	1.0