浸没式光刻气泡夹带与流动动力问题研究

• 作者: 井科学
• 来源期刊: 科技创新导报
• 学科: 工学
• 关键词: 浸没式光刻气泡 流动动力
• 年，卷（期）: 2011,（22）
• 所属期刊栏目: 工程技术
• 页码范围: 92-93
• 分类号: TP273
• 字数: 1598字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-098X.2011.22.072

摘要

本文结合FLUENT仿真分析与气密封浸液单元的实测过程对浸没式光刻过程中出现的气泡夹带及流动动力问题进行了研究。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	井科学		8	10	2.0	3.0