Al2O3过渡层对ZnO薄膜性质的影响

• 作者: 张伟 李敏君
• 来源期刊: 黑龙江科技信息
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌薄膜 三氧化二铝过渡层 薄膜性质
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 科技论坛
• 页码范围: 18
• 分类号: TB383
• 字数: 1437字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1328.2011.12.021

摘要

采用磁控溅射(sputtering)方法在Si(100)上成功生长了Al2O3,薄膜,并以此为村底,实现了ZnO薄膜的低温准外延生长.通过ZnO薄膜的表征.表明,ZnO薄膜能在Al2O3,过渡层上沿c轴准外延生长,采用适当的Al2O3过渡层后,其电学性质也有大幅提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李敏君	牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料重点实验室	28	58	5.0	6.0
2	张伟	牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料重点实验室	26	30	2.0	3.0