原子级加工技术的研究

• 作者: 刘晋春 郑炜
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 原子级加工 特种加工 纳米技术
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺·装备
• 页码范围: 45-48
• 分类号: TG66
• 字数: 3197字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-279X.2012.04.012

摘要

分析了扫描隧道显微镜的两种工作模式,即“恒高度模式”和“恒电流模式”,并以扫描探针显微镜在实际加工中的成功应用为例,说明原子级加工技术在理论和实践上是可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑炜	厦门大学物理与机电工程学院	8	46	3.0	6.0
2	刘晋春	哈尔滨工业大学特种加工及机电控制研究所	23	339	11.0	18.0