基于频率灵敏度方法的超声键合换能器结构优化

• 作者: 张亮亮 祝孟鹏 隆志力 韩雷
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 频率灵敏度 结构优化 超声键合 换能器
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 439-442
• 分类号: TN14
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2012.04.017

摘要

针对超声换能器设计上存在的双共振峰或多共振峰等常见问题,提出了一种基于频率灵敏度方法的换能器结构优化设计方法。以芯片键合超声换能器为例,采用模态频率灵敏度的方法,通过最小量地修正变幅杆的直径,实现轴向工作频率与其他非工作频率的分离,有效地抑制了工作频率附近杂散的非工作模态对自身模态的干扰,确保在工作状态下换能器被驱动在单一的工作频率,从而提高了超声能量输出的稳定性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩雷		78	614	14.0	20.0
2	祝孟鹏		2	8	2.0	2.0
3	隆志力	哈尔滨工业大学深圳研究生院	16	54	4.0	5.0
4	张亮亮	东莞华中科技大学制造工程研究院	1	4	1.0	1.0