多线切割中温度对悬浮液的影响

• 作者: 栾国旗
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 多线切割 悬浮液 黏度
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 材料制造设备与工艺
• 页码范围: 15-18
• 分类号: TN305.1
• 字数: 2444字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.02.004

摘要

多线切割在光伏以及半导体行业中有着广泛的应用,多线切割所用的悬浮液有着非常重要的作用,性能优良的悬浮液兼有切削、粘滞、冷却三大功能,可以有效提高硅片质量,提高生产效率。研究其特性主要是温度对其的影响,说明在科研生产中,悬浮液要控制在适宜的温度范围内,才能有效控制晶片质量。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	栾国旗	中国电子科技集团公司第四十六研究所	3	8	2.0	2.0