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摘要:
作为众多的薄膜制备方法之一,旋涂法具备薄膜厚度精确可控、高性价比、节能、低污染等优势,在微电子技术、纳米光子学、生物学、医学等领域中有着广阔的应用前景.本文简单介绍了旋涂法的模型、机理及其主要参数的估算方法,并总结了近几年来用旋涂法制备光学、微电子学等功能薄膜的新进展,最后对旋涂法的发展前景进行了展望.
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应用
研究进展
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溶胶-凝胶
铁电薄膜
功能材料
内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 旋涂法制备功能薄膜的研究进展
来源期刊 影像科学与光化学 学科 化学
关键词 旋涂法 功能薄膜 厚度控制
年,卷(期) 2012,(2) 所属期刊栏目 综述
研究方向 页码范围 91-101
页数 分类号 O64
字数 6984字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 贺军辉 中国科学院理化技术研究所功能纳米材料实验室 47 453 11.0 20.0
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研究主题发展历程
节点文献
旋涂法
功能薄膜
厚度控制
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
影像科学与光化学
双月刊
1674-0475
11-5604/O6
16开
北京市海淀区中关村东路29号 中科院理化所
2-383
1983
chi
出版文献量(篇)
1689
总下载数(次)
4
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11331
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