光栅测量系统的误差研究

• 作者: 杜国山 程真英 陈晓怀
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅测量系统 误差建模 误差分离 误差修正
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 187-191
• 分类号: TH701
• 字数: 2214字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1187.2012.00187

摘要

研究光栅系统的误差构成及其变化规律,对提高光栅测量系统的精度,进行测量系统结构的优化设计均具有重要意义.在全面分析光栅测量系统误差来源的基础上,定量描述了光栅副误差、导轨误差、工作台误差,建立了光栅测量系统总误差模型;研制了一套激光干涉仪与光栅测量系统实时比对实验装置,实现了光栅测量系统综合误差的分离.通过模型仿真与实验比对,验证了总误差模型的有效性.应用该模型对光栅测量系统进行误差修正,能显著提高光栅系统的精度,使测量不确定度减小了一半.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程真英	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	33	193	8.0	12.0
2	陈晓怀	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	100	1009	16.0	25.0
3	杜国山	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	1	45	1.0	1.0