N2射频放电带电粒子(e,N2+,N+)的PIC-MC模拟

• 作者: 付东儒 张连珠 杨莹
• 来源期刊: 核聚变与等离子体物理
• 学科: 物理学
• 关键词: N2等离子体 射频放电 PIC-MC模拟
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 等离子体物理学
• 页码范围: 206-212
• 分类号: O539
• 字数: 4147字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6086.2012.03.003

摘要

采用PIC-MC自治模型,模拟了氮气电容性耦合射频放电的微观等离子体过程及带电粒子(e,N2+,N+)的行为.结果表明,离子(N2+,N+)的运动状态滞后瞬时射频电场的变化；在两极附近,N2+具较高密度,但能量较低,N+具较低的密度但能量较高,两者的密度差6倍左右.两种离子轰击射频电极的能量分布变化规律类似,随放电参数变化,离子(N2+,N+)能量变化显著,其密度变化不明显.模拟的电子能量几率分布与测量结果一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张连珠	河北师范大学物理科学与信息工程学院	25	66	4.0	7.0