引入内控限确定合理的Cpk值

• 作者: 刘建
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 关键词: 工艺控制限 工序能力指数 统计过程控制 电子元器件
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 可靠性设计与工艺控制
• 页码范围: 47-50
• 分类号: TB114.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5468.2012.04.011

摘要

在计算Cpk的时候通常采用工艺规范限,但当实际数据统计出的控制限要远小于工艺规范限时,就会出现Cpk值的虚高；尤其是采用单边控制限时,这种现象尤为明显.为了从工艺角度更真实地表征工艺质量的一致性,需要对Cpk的计算方法做些调整,引入内控限替代工艺规范限.分别采用光刻和键合两道工序作为双边控制和单边控制的内控限计算方法事例,论述如何使Cpk值达到合理水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘建		4	12	3.0	3.0