一种氧离子注入的均匀性控制系统设计

• 作者: 刘咸成 贾京英 郭忠君
• 来源期刊: 自动化与仪器仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入 均匀性控制 SOI SIMOX
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 控制系统设计
• 页码范围: 74-76
• 分类号: TP13
• 字数: 2333字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9227.2012.04.032

摘要

在SIMOX工艺制作过程中,氧离子注入的均匀性对SOI材料表面硅厚度的均匀性和SiO2埋层厚度的均匀性起着直接的决定性的作用.文章介绍了一种氧离子注入均匀性控制系统的工作原理和设计方案,该方案应用于我所研制的强流氧离子注入机,取得了理想的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾京英	中国电子科技集团公司第四十八研究所	10	25	3.0	4.0
2	刘咸成	中国电子科技集团公司第四十八研究所	4	4	1.0	2.0
3	郭忠君	中国电子科技集团公司第四十八研究所	3	1	1.0	1.0