谱学显微光束线光斑水平漂移分析与检测

• 作者: 卢启鹏 彭忠琦 马磊
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 变包含角平面光栅单色仪 谱学显微光束线 光斑水平漂移 误差分析
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 514-519
• 分类号: TH744.1|TB92
• 字数: 2555字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122003.0514

摘要

为提高上海光源搭建的国内首条软X射线谱学显微光束线站的整体性能,分析了其分光装置一变包含角平面光栅单色仪在波长扫描过程中影响谱学显微光束线光斑水平漂移的各个因素,推导出了各因素与光斑水平漂移的传递关系,并结合具体要求进行了误差分配.针对光斑水平角漂移重复精度的检测,采用自准直原理,构建了测试系统.利用该系统,完成了谱学显微光束线站光斑水平漂移重复精度的离线检测,其结果为0.67″,满足设计指标1″的要求.对安装调试后的束线进行了总体性能测试,结果均满足谱学显微设计和使用要求.由此表明,提出的对谱学显微光束线光斑水平漂移误差来源的分析及检测方法,有效保证了束线性能的实现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢启鹏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	63	574	13.0	22.0
2	彭忠琦	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	27	364	9.0	19.0
3	马磊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	20	172	7.0	12.0