场发射俄歇电子能谱显微分析

• 作者: 吴正龙
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 显微分析 场发射俄歇电子能谱(FE-AES) 扫描俄歇电子能谱探针(SAM) 俄歇像 场发射电子枪 微电子器件
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: O6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2005.03.001

摘要

场发射俄歇电子能谱的显微分析是一项新的分析技术,可对微尺度样品进行点、线、面的元素组分及元素化学态分析.本文简要介绍这项新技术的功能原理和在微电子器件检测等方面的具体应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴正龙	北京师范大学分析测试中心	41	276	7.0	15.0