俄歇电子能谱仪在失效分析中的应用

• 作者: 俞杭芳 杨其华 盛国裕
• 来源期刊: 机械工艺师
• 学科: 工学
• 关键词: 俄歇谱仪失效分析
• 年，卷（期）: 2001,（8）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表与检测
• 页码范围: 49-51
• 页数: 3页
• 分类号: TN99
• 字数: 2459字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2001.08.029

摘要

介绍俄歇电子能谱仪的测试原理,举例说明在失效分析中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨其华		49	332	10.0	16.0
2	盛国裕		10	17	3.0	4.0
3	俞杭芳		1	0	0.0	0.0