X光电子能谱分析中光电子峰和俄歇峰的干扰及消除

• 作者: 吴正龙
• 来源期刊: 分析测试学报
• 学科: 物理学
• 关键词: XPS 光电子峰 俄歇电子峰 CrZnSi合金 GaN 双阳极X射线源
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: O766.3
• 字数: 1986字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4957.2005.03.012

摘要

X光电子能谱(XPS)在分析多元素材料时,光电子峰可能受到其它元素俄歇谱的干扰.在AlKα激发CrZnSi合金样品时,光电子峰Cr2p和俄歇峰ZnLMM相互干扰,而换用双阳极中的MgKα源激发,虽可消除此相互干扰,但样品表面的Cls和Nls又会受到ZnLMM干扰.类似地,AlKα激发的GaN样品中Nls受俄歇峰GaLMM的严重干扰,而换用MgKα源激发时,Cls峰又受到的GaLMM的干扰.交替使用Mg/Al双阳极激发源,可改变XPS分析中的俄歇谱及其背景对光电子峰的干扰位置,并用未受干扰的峰互相校正2组谱图能量位置,以对样品谱峰作出正确的分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴正龙	北京师范大学分析测试中心	41	276	7.0	15.0