钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
数据库索引
>
中国科学引文数据库
工程索引(美)
日本科学技术振兴机构数据库(日)
文摘杂志(俄)
科学文摘(英)
化学文摘(美)
中国科技论文统计与引文分析数据库
中文社会科学引文索引
科学引文索引(美)
中文核心期刊
cscd
ei
jst
aj
sa
ca
cstpcd
cssci
sci
cpku
默认
篇关摘
篇名
关键词
摘要
全文
作者
作者单位
基金
分类号
搜索文章
搜索思路
钛学术文献服务平台
\
学术期刊
\
工业技术期刊
\
原子能技术期刊
\
原子能科学技术期刊
\
Ti/Mo膜的X射线光电子能谱分析
Ti/Mo膜的X射线光电子能谱分析
作者:
刘锦华
姚冰
涂兵
牟方明
龙兴贵
原文服务方:
原子能科学技术
Ti膜
X射线光电子谱仪
离子刻蚀
结合能
摘要:
利用X射线光电子谱仪(XPS)分析和Ar+刻蚀相结合的方法,分析了Ti膜表面的化学元素及相应原子的电子结合能.分析结果表明:Ti膜及膜材料样品表面有大量的C、O元素;膜表面存在从衬底扩散至Ti膜的Mo元素.对样品刻蚀后Ti 2p的XPS谱进行拟合表明:Ti膜表面的Ti由TiO2(约100%)和单质Ti组成,随刻蚀时间的增加,部分TiO2还原至低价Ti;薄的薄膜表面中的Mo由单质Mo和MoO3组成,而厚的薄膜以单质Mo为主;表面C由石墨态和结合能为288.2~288.9 eV的碳化物组成.
下载原文
收藏
引用
分享
推荐文章
Axis系列成像X射线光电子能谱仪
磁浸透镜
专利球镜
能量分析器
全自动同轴电荷中和系统
平行成像
青铜文物光电子能谱分析
金沙青铜器
腐蚀
光电子能谱
现代X光电子能谱(XPS)分析技术
单色XPS
小面积XPS
成像XPS
显微分析
泌尿系结石的X射线光电子能谱和X射线衍射联合分析
泌尿系结石
X射线光电子能谱
X射线衍射法
内容分析
文献信息
版权信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
Ti/Mo膜的X射线光电子能谱分析
来源期刊
原子能科学技术
学科
关键词
Ti膜
X射线光电子谱仪
离子刻蚀
结合能
年,卷(期)
2002,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
384-387
页数
4页
分类号
O484.5
字数
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1000-6931.2002.04.025
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
龙兴贵
中国工程物理研究院核物理与化学研究所
123
496
10.0
16.0
2
刘锦华
中国工程物理研究院核物理与化学研究所
8
12
3.0
3.0
3
牟方明
中国工程物理研究院核物理与化学研究所
3
4
1.0
2.0
4
涂兵
中国工程物理研究院核物理与化学研究所
1
4
1.0
1.0
5
姚冰
中国工程物理研究院核物理与化学研究所
1
4
1.0
1.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
版权信息
全文
全文.pdf
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(1)
节点文献
引证文献
(4)
同被引文献
(0)
二级引证文献
(0)
1995(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2002(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2004(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2011(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2012(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
Ti膜
X射线光电子谱仪
离子刻蚀
结合能
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
原子能科学技术
主办单位:
中国原子能科学研究院
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-6931
CN:
11-2044/TL
开本:
大16开
出版地:
北京275信箱65分箱
邮发代号:
创刊时间:
1959-01-01
语种:
中文
出版文献量(篇)
7198
总下载数(次)
0
总被引数(次)
27955
期刊文献
相关文献
1.
Axis系列成像X射线光电子能谱仪
2.
青铜文物光电子能谱分析
3.
现代X光电子能谱(XPS)分析技术
4.
泌尿系结石的X射线光电子能谱和X射线衍射联合分析
5.
X射线光电子能谱仪应用——特殊样品测量及复杂图谱解析
6.
X射线光电子能谱确定铜川煤及其焦中氮的形态
7.
利用X射线光电子能谱确定煤及其残焦中硫的形态
8.
X光电子能谱分析边界润滑膜特性的研究
9.
应用光电子能谱对一种负载型非茂催化剂结构的表征
10.
β-Ga2O3体单晶X射线光电子能谱分析
11.
NiTi合金薄膜厚度对相变温度影响的X射线光电子能谱分析
12.
不同结晶指数纤维素的X射线光电子能谱分析
13.
光电子成像电子能谱仪新一代DLD(延迟线检测器)系统
14.
X光电子能谱分析中光电子峰和俄歇峰的干扰及消除
15.
双原子填充式skutterudite化合物的结构及X射线光电子能谱分析
推荐文献
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
根据相关规定,获取原文需跳转至原文服务方进行注册认证身份信息
完成下面三个步骤操作后即可获取文献,阅读后请
点击下方页面【继续获取】按钮
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
原文合作方
继续获取
获取文献流程
1.访问原文合作方请等待几秒系统会自动跳转至登录页,首次访问请先注册账号,填写基本信息后,点击【注册】
2.注册后进行实名认证,实名认证成功后点击【返回】
3.检查邮箱地址是否正确,若错误或未填写请填写正确邮箱地址,点击【确认支付】完成获取,文献将在1小时内发送至您的邮箱
*若已注册过原文合作方账号的用户,可跳过上述操作,直接登录后获取原文即可
点击
【获取原文】
按钮,跳转至合作网站。
首次获取需要在合作网站
进行注册。
注册并实名认证,认证后点击
【返回】按钮。
确认邮箱信息,点击
【确认支付】
, 订单将在一小时内发送至您的邮箱。
*
若已经注册过合作网站账号,请忽略第二、三步,直接登录即可。
期刊分类
期刊(年)
期刊(期)
期刊推荐
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
原子能科学技术1999
原子能科学技术2000
原子能科学技术2001
原子能科学技术2002
原子能科学技术2003
原子能科学技术2004
原子能科学技术2005
原子能科学技术2006
原子能科学技术2007
原子能科学技术2008
原子能科学技术2009
原子能科学技术2010
原子能科学技术2011
原子能科学技术2012
原子能科学技术2014
原子能科学技术2017
原子能科学技术2021
原子能科学技术2024
原子能科学技术2023
原子能科学技术2013
原子能科学技术2015
原子能科学技术2016
原子能科学技术2018
原子能科学技术2019
原子能科学技术2020
原子能科学技术2002年第3期
原子能科学技术2002年第4期
原子能科学技术2002年第6期
原子能科学技术2002年第1期
原子能科学技术2002年第2期
关于我们
用户协议
隐私政策
知识产权保护
期刊导航
免费查重
论文知识
钛学术官网
按字母查找期刊:
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
其他
联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com
京ICP备2021016839号
营业执照
版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号