Er+注入Yb掺杂的ZnO波导膜的光学及结构特性研究

• 作者: 卢菲 宋红莲 王凤翔 陈志华 齐俊鹤
• 来源期刊: 山东建筑大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 离子注入 掺杂 ZnO 光波导 Er Yb
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 262-266,275
• 分类号: O484.4
• 字数: 3401字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-7644.2012.03.002

摘要

利用射频磁控溅射技术在蓝宝石衬底上沉积ZnO∶Yb光波导薄膜,然后用离子注入技术将能量为200keV的Er+离子注入薄膜中,剂量为1×1015 ions/cm2.应用棱镜耦合技术、卢瑟福背散射(RBS)技术、X射线衍射(XRD)技术和荧光光谱等技术研究了薄膜的波导性质、基本结构、厚度、组分、Er+的射程情况及光学频率上转换性质.实验发现掺杂Yb和Er的薄膜可以形成光波导结构,但波导质量较纯ZnO波导膜差,膜的有效折射率及沉积速率随Yb掺杂量增加有减小趋势；薄膜呈ZnO高度c—轴取向生长,Yb和Er能有效掺杂进ZnO晶格,ZnO晶格常数受Yb掺杂量的不同而变化；在980nm激光激发下没有发现在300-720nm间的光学频率上转换.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐俊鹤	山东建筑大学理学院	2	6	2.0	2.0
2	王凤翔	山东建筑大学理学院	16	48	4.0	5.0
3	卢菲	山东大学信息科学与工程学院	7	22	3.0	4.0
4	陈志华	山东建筑大学理学院	6	13	2.0	3.0
5	宋红莲	山东建筑大学理学院	6	17	3.0	4.0