超纯PFA衬里及其在电子化学品领域中的应用

• 作者: 童华攀 顾国跃 顾秋林
• 来源期刊: 化工生产与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超纯可熔性聚四氟乙烯 衬里 金属离子析出 电子化学品 应用
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 氟化工
• 页码范围: 12-15,24
• 页数: 5页
• 分类号: TQ050.4+5
• 字数: 3347字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-6829.2012.06.003

摘要

介绍了可熔性聚四氟乙烯(PFA)的特性,说明了PFA材料的耐腐蚀性能、金属离子析出水平、加工性能；对超纯PFA与普通PFA材料进行了比较,叙述了钢制设备的超纯PFA衬里结构及制造流程.介绍了常见的电子化学品,以及超纯PFA衬里在电子化学品中的应用情况.认为随着消费电子领域日趋繁荣及全球IC产业逐步转向中国大陆,对电子化学品的需求也越来越大,超纯PFA衬里的市场将迎来良好的发展时期.