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摘要:
介绍基于HMI-PLC-VFD的自动控制系统的设计方法,及其在电子产品生产水处理系统中的应用。
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PLC冗余控制在超纯水控制系统中的应用
超纯水处理
冗余
组态
架构
半导体行业超纯水制造技术
半导体
超纯水
节能减排
VLSI用超纯水制备系统设计中的一些重点问题
超大规模集成电路
两级反渗透
电连续去离子
脱氧膜组
抛光混床
超纯水系统EDI装置化学清洗及灭菌方法
电去离子技术(EDI)
化学清洗
灭菌
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 450t超纯水混床控制系统设计
来源期刊 自动化应用 学科 工学
关键词 混床 控制系统 优化设计 控制策略
年,卷(期) 2012,(12) 所属期刊栏目 变频节能及软起动系统
研究方向 页码范围 51-53,69
页数 4页 分类号 TQ085
字数 2766字 语种 中文
DOI
五维指标
传播情况
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引文网络
引文网络
二级参考文献  (11)
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1992(1)
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2016(1)
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研究主题发展历程
节点文献
混床
控制系统
优化设计
控制策略
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
自动化应用
月刊
1674-778X
50-1201/TP
大16开
重庆市渝北区洪湖西路18号《自动化应用》杂志社
78-52
1960
chi
出版文献量(篇)
6972
总下载数(次)
15
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